반도체벨트 효과…소부장 기업들 용인에 둥지

용인시, 도쿄일렉트론·고영테크놀로지 유치
용인반도체클러스터 37필지 중 31필지 입주협약

대규모 반도체 벨트가 조성되는 경기도 용인에 국내외 주요 반도체 소재·부품·장비(소부장) 업체들이 모여들고 있다.

용인시에 따르면 글로벌 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL), 국내 반도체 검사장비 업체인 고영테크놀로지 등이 용인 지역에 연구개발(R&D)센터, 본사 등을 옮길 예정이다.

용인시 처인구 이동·남사읍 일대 첨단 시스템반도체 국가산업단지 예정지 전경. 대규모 반도체 벨트가 조성되는 용인 일대에 관련기업들이 속속 모여들고 있다. [사진제공=용인시]

TEL의 한국법인인 도쿄일렉트론코리아는 지난달 말 원삼 일반산업단지 입주를 위해 산업시설용지 2만7032㎡에 대한 업종 변경 등을 시에 신청했다. TEL은 반도체 장비 분야 매출 세계 4위, 특허 보유 1위 기업이다. 앞서 이 회사는 이곳에 R&D 센터 건립을 위해 연초 이 토지를 매입했다. 회사 측은 산업단지계획 변경 승인이 나는 대로 연구동과 생산라인(Fab)을 건립할 예정이다.

원삼일반산단은 SK하이닉스가 들어서는 용인반도체클러스터 인근에 있는 10만8919㎡ 규모의 산단으로, 이미 장비업체인 에스티아이, 소자 업체인 나녹스 등이 입주한 상태다.

반도체 어드밴스드 패키징 검사장비 업체인 고영테크놀로지는 서울 본사와 지주회사를 수지구 상현동 소재 고영테크놀로지 R&D 센터로 통합 이전한다. 이번 본사 이전은 고영테크놀로지의 본사·R&D 센터 통합 계획에 따른 것으로, 용인시는 신속한 행정절차를 통해 올 하반기 이주가 이뤄질 수 있도록 지원한다는 방침이다.

이 밖에 반도체·디스플레이 장비업체 ㈜애플티는 처인구 모현읍 일대 2632㎡ 부지에 연면적 1710㎡ 규모 신축공장을 오는 8월 준공한다. 이 회사는 최근 포스텍 나노융합기술원에 반도체 핵심 장비인 포트레지스트 도포용 트랙 장비를 설치해 운영키로 한 업체다.

시는 용인반도체클러스터 협력화단지에는 분양 대상 37개 필지 중 31개 필지에 원익IPS 등 29개 기업이 입주 협약을 체결한 상태라고 밝혔다. 또 첨단 시스템반도체 국가산업단지 인근 용인테크노밸리에는 반도체 핵심 소재인 EUV 블랭크 마스크와 펠리클 분야 기술을 보유한 에스앤에스텍이 오는 7월께 신규공장을 준공할 예정이라고 시는 덧붙였다.

이상일 용인시장은 "시스템반도체 국가산단 등 반도체벨트 프로젝트를 성공적으로 완수하기 위한 행정지원을 아끼지 않을 것"이라며 "이를 위한 도로·철도망 확충에도 노력을 기울이겠다"고 설명했다.

정두환 기자 dhjung69@asiae.co.kr