[IPO 돋보기]오로스테크놀로지, 반도체 검사계측장비 업체

[아시아경제 박형수 기자] 오로스테크놀로지는 코스닥 시장 상장을 계기로 반도체 전공정 계측장비 시장에서 세계적인 경쟁력을 갖춘 업체로 거듭날 계획이다.

2009년 설립한 오로스테크놀로지는 반도체 전공정 오정렬 측정장비(Overlay System)를 개발했다. 오정렬 측정장비는 전공정의 핵심공정인 노광 공정 등에서 회로 패턴에 맞춰 실제로 적층이 잘됐는지 확인하고 위치 오류를 보정하는 계측 장비다. 반도체 생산 공정이 발달할수록 오정렬 측정 수요가 늘고 있다. 기존 노광기 1대당 0.5대 수준에서 최대 3대까지 늘어날 것으로 보인다. 오로스테크놀로지는 원천기술을 확보한 성과를 인정받아 기술성 평가에서 A등급으로 평가받았다.

오버레이 장비는 반도체 웨이퍼의 회로패턴 정렬 상태를 측정하는 장비다. 일반적으로 반도체를 생산할 때 전(前)공정과 후(後)공정으로 나눈다. 반도체 웨이퍼에 회로패턴을 입력하는 전공정의 경우 노광·식각·세정·증착·이온주입·확산·CMP 등의 과정을 거친다. 이 과정을 반복하며 회로패턴을 적층할 때 회로 패턴간 정렬 오차가 발생하는지를 검사하고 제어하는 역할을 하는 것이 오버레이 장비다.

오로스테크놀로지는 독자적인 오버레이 타겟을 개발해 보유하고 있다는 점이 특징이다. 독자적인 구조로 설계한 오버레이 타겟은 기존 타겟 대비 절반의 면적으로도 비슷한 수준의 정밀 측정 성능을 보인다. 국내 반도체 생산 업체가 오로스테크놀로지를 기술혁신기업으로 선정했다.

나승두 SK증권 연구원은 "오로스테크놀로지는 KLA와 ASML이 과점하고 있는 오버레이 계측장비 시장에 침투한 국내 유일 업체"라며 "경쟁 업체의 점유율을 잠식해 나가는 과정에 있다"고 설명했다.

오로스테크놀로지는 기업공개(IPO)를 통해 399억원을 조달한다. 주당 공모가는 2만1000원으로 확정했다.

조달한 자금은 연구개발(R&D) 제품 확대, 설비투자, R&D 투자 및 우수인력을 확보하는 데 사용한다. 경기도 화성시 일반산업단지에 생산시설을 구축할 예정이며 클린룸 시설과 장비 유틸리티 설비 확충을 위해 약 500 평 규모의 토지를 매입하기로 했다. 건물 건설공사를 포함해 약 300~350평 규모의 클린룸 내 장비 사양기준 생산설비를 구축한다.

오로스테크놀로지는 판교 인근지역으로 연구개발센터를 확충한다. 세계적인 기업으로 성장하기 위해 미국 실리콘밸리에도 해외연구소를 설립할 예정이다.

박형수 기자 Parkhs@asiae.co.kr