SK그룹, 불화수소 가스 양산 시작

[아시아경제 박소연 기자] SK그룹이 추진해온 소재 국산화 성과가 속도를 내고 있다.

17일 SK그룹은 반도체 소재 생산 계열사인 SK머티리얼즈가 대표적인 일본 수출규제 대상 품목인 초고순도(순도 99.999%) 불화수소 가스 양산에 돌입했다고 밝혔다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스다. 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달했다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다.

SK는 이번 양산을 기점으로 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다. 재고 부족을 겪던 반도체 제조사들에 숨통이 트일 것이란 전망이 나온다. SK그룹 계열사들은 중소 협력사들이 소재 국산화 과정에서 필요로 하는 기술 및 노하우를 공유할 예정이다.

SK그룹은 불화수소와 함께 해외의존도가 높은 포토레지스트(감광액) 영역에서도 국산화 작업을 본격화하고 있다. SK머티리얼즈는 최근 하드마스크와 불화아르곤 포토레지스트 개발에 나섰다.

반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트를 바르고 노광 장비로 빛을 쏘면 빛의 노출에 반응해 화학적 성질이 변하면서 회로 패턴이 새겨진다. 하드마스크는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재이며 불화아르곤 포토레지스트는 포토레지스트의 일종으로 두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적 고부가 제품이다.

특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외의존도가 90%에 달해, 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해진다. SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만 갤런 규모의 포토레지스트를 생산하겠다는 계획이다.

SK그룹은 소재 국산화를 단계별로 진행하고 있다. 앞서 SK실트론이 인수합병(M&A)을 통해 반도체 소재 국산화에 앞장섰다. 지난해 SK실트론은 미국 듀폰사로부터 전기 자동차에 필수적으로 사용되는 소재인 차세대 전력 반도체용 실리콘카바이드 웨이퍼 사업을 인수했다. 실리콘카바이드 웨이퍼 사업은 미국·유럽의 소수 업체가 글로벌 시장을 과점하고 있다. SK그룹의 듀폰 사업부 인수는 국내 소재 사업의 위상을 한 단계 높인 계기로 평가받고 있다.

SK그룹 관계자는 "연구개발, 인수합병, 기술 라이센싱 등 다양한 방법론을 통해 핵심 소재에 대한 국산화 및 고부가 기술 확보를 추진할 것"이라며 "이 과정에서 중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다"고 말했다.

박소연 기자 muse@asiae.co.kr