向韩国纳米技术院提供8英寸晶圆测量设备
引入工厂运营手册……推广至公共研究设施
三星电子将半导体生产设施的运营经验和闲置设备转交给公共研究设施。此举旨在将民营企业的半导体制造与管理经验引入公共纳米加工设施，供大学、研究机构以及材料、零部件和设备企业使用，从而提升研发支持能力。
韩国科学技术信息通信部11日表示，当天在京畿道水原市的韩国纳米技术院举行了“公共纳米加工设施运营效率提升咨询成果报告会暨二手设备移交仪式”。该项目是2025年3月科学技术信息通信部与三星电子、SK海力士、DB HiTek签署业务合作协议后的后续举措。
三星电子设备解决方案部门的共赢合作中心从今年6月至10月，为韩国纳米技术院提供了半导体工厂运营与管理咨询。这是将三星电子此前向材料、零部件和设备合作企业提供的咨询服务，根据公共研究设施的特点加以调整后推出的项目。
咨询成果已纳入各设备的标准作业程序、检查表以及培训和运营标准。尤其是三星电子以半导体生产现场采用的检查方式为基础，开发了适用于公共纳米加工设施的“现场检查手册”。其特点是制定了标准流程，以便持续检查设施安全和设备状态。
三星电子的闲置设备也已移交给韩国纳米技术院。移交设备为自动图形薄膜测量设备，可通过非破坏性方式测量8英寸半导体晶圆的薄膜厚度和光学常数。韩国纳米技术院计划将其用于企业、大学和研究机构的半导体工艺研究及技术支持。
民营咨询模式将推广至其他公共纳米加工设施
韩国科学技术信息通信部计划将此次咨询成果推广至公共纳米加工设施共享体系“摩亚纳米加工设施”的参与机构，并逐步将运营改进模式应用于韩国电子通信研究院特色半导体技术中心、首尔大学半导体共同研究所、大邱庆北科学技术院下一代传感器与半导体研究所等机构。
三星电子设备解决方案部门共赢合作中心主任（副总裁）Ji Hyeongi表示：“我们希望为共赢的良性循环贡献力量，让三星电子积累的制造创新经验通过公共纳米加工设施传递给研究人员和材料、零部件及设备企业。我们也将参与此次咨询模式向其他摩亚纳米加工设施参与机构推广的过程。”
韩国科学技术信息通信部第一副部长 Gu Hyeokchae表示：“民间设备和经验与公共研究基础设施相衔接，民官合作的重要性日益凸显。我们将把合作模式推广至所有摩亚纳米加工设施参与机构，为半导体技术创新和专业人才培养提供支持。”
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