应对高带宽存储器及超微细工艺普及,开发高纯度材料
还推出人工智能驱动的水处理综合设计程序
三养社公开了一款钠含量较现有产品降低94%的新一代半导体超纯水用离子交换树脂,正加快推进半导体超纯水材料国产化。
三养社于28日在首尔钟路区总部举办的“Trilight Day 2026”活动上,包括三养社WS PU负责人Cho Youngdo(中)在内的与会者合影留念。三养控股供图。
View original image三养社29日表示,公司于28日在首尔钟路区总部邀请约70名水处理相关客户企业员工,举办了“TRILITE DAY 2026”。
此次活动上公开的“Maxpurity UPRM500U”较现有产品UPRM400U的一大特点是,树脂中的残留钠含量降低了94%。此外,铁、钙、镁等8种金属的含量也有所下降,从而提高了超纯水的纯度。
超纯水是将离子、有机物和微粒等杂质去除至极低水平的水,主要用于半导体晶圆清洗等工序。随着半导体电路线宽缩小至2纳米(nm)以下,极微量杂质也可能导致产品缺陷,因此水质管理的重要性日益凸显。
离子交换树脂尤其是超纯水制造工艺最后一道纯化工序中使用的核心材料。由于此后不再有进一步去除离子的工序,离子交换树脂本身的纯度会直接影响最终超纯水的品质。
三养社计划依据24项金属与离子管理标准,获取相关数据,以便定量预测离子交换树脂中溶出的金属量。
活动当天,公司还公开了基于人工智能的水处理综合设计程序“New TriAngle”。用户输入处理流量、原水条件及运行时间等参数后,该程序便会综合分析离子交换树脂、反渗透(Reverse Osmosis,RO)和电去离子(Electrodeionization,EDI)工艺,并在1分钟内提供最优水处理工艺流程图。三养社表示,开发此类综合设计程序在全球尚属首创。
此外,公司还介绍了较现有产品离子交换容量提高约15%的高容量阴离子交换树脂“Maxcapacity MA-10E”,以及用于核电站凝结水除盐设备的高纯度离子交换树脂开发进展。
三养社WS PU负责人Jo Yeongdo表示:“如今我们已进入连一颗半导体超纯水用离子交换树脂的纯度都能加以管理的阶段,将加快产品商业化,为半导体超纯水材料国产化作出贡献。通过New TriAngle,我们还将缩短水处理系统的设计周期,更迅速地响应客户需求。”
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