Deo Tera代表Seo Jeongpil专访
SK海力士内部创业项目开发利用太赫兹波的半导体元件检验设备
在制造精密电子元件的生产过程中，即使是微小到连一粒灰尘都不如的颗粒，也会造成影响。即便对生产流程进行再严格的管理，也可能出现不良品。如果能够测量元件表面的特性或厚度，就能减少此类不良品并进行质量管理。然而，要准确测量元件表面的物理特性并不容易。Deo Tera是一家初创企业，致力于利用“太赫兹波”解决这一问题。作为SK海力士内部创业项目孵化的企业，Deo Tera的目标是进一步发展这项技术，开发用于高带宽存储器的测量设备。
28日，Deo Tera代表Seo Jeongpil表示：“太赫兹波的波长比可见光长，但比无线电波短。利用太赫兹波，其穿透力优于可见光，因此能够进行更精密的测量。”太赫兹波通常指每秒振动1万亿次（太赫兹）的电磁波。它的频率介于微波和红外线之间：微波每秒振动10亿至3000亿次，红外线则波长较长、穿透空气的能力较强。太赫兹波兼具电磁波的穿透性和光波的直线传播特性，因此除金属等导电性较强的物质外，能够穿透多种材料。
Seo Jeongpil之所以利用太赫兹波投身创业，是为了破解他在SK海力士工作期间遇到的问题。他当时负责寻找生产过程中产生的“颗粒（造成问题的微小灰尘）”。Seo Jeongpil表示：“某种特定元件反复出现不良品，问题在于无法进行测量。”他认为，只要准确测量元件表面，就能解决这一问题。在此过程中，他了解到利用太赫兹波的技术具有实用价值。他解释说：“我发现并调查了汽车领域利用太赫兹波进行特殊测量的案例，并判断这种技术能够精确测量元件表面的物理特性。”
作为SK海力士内部创业项目入选企业、并通过了商业可行性验证的Deo Tera，正在开发利用太赫兹波测量元件的设备，目前已进入最后阶段，计划于2026年内完成原型机。之后经过测试和改进，预计于2027年3月至4月左右实现产品化。该设备上市后，可用于半导体元件的检验流程。Seo Jeongpil表示：“半导体等电子产品的精密生产流程需要多种元件。引入利用太赫兹波的设备，就相当于拥有了‘测量之眼’，能够减少为达到目标性能而经历的反复试错。”
Deo Tera计划突出这款太赫兹波测量设备能够实现以往无法做到的无损测量和质量管理，以此抢占市场。首要目标客户是半导体元件企业。初期计划以分析服务为主，而非销售设备。该设备将首先应用于半导体元件检验，但未来也有望拓展至其他领域，汽车、航空航天、造船等产业都可能成为目标市场。继半导体元件之后，Seo Jeongpil将汽车产业视为第二个重点领域。
Deo Tera的最终目标与SK海力士的核心业务相连。Seo Jeongpil表示：“目前正处于积累关键技术、提升可信度的阶段。我们的目标是在此基础上，于2030年前开发出用于高带宽存储器的测量设备。”
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