瑞银集团:“中国EUV技术处于阿斯麦2004年水平……10年内难以替代”
有分析指出,中国虽大力推进半导体自主化,但在光刻设备领域仍未能跨越荷兰阿斯麦(ASML)的壁垒。尤其是最先进的极紫外线(EUV)光刻技术,目前仍停留在阿斯麦2004年的水平,未来10年内恐难获得具备实质替代能力的技术。
瑞银集团2日(当地时间)在报告中评估称:“中国目前的技术水平看上去与阿斯麦2004年时处于相似阶段。”该机构预计,未来10年内,中国难以掌握可替代阿斯麦最先进极紫外线(EUV)技术的技术能力。
阿斯麦是全球唯一生产极紫外线光刻设备的企业。这类设备是生产供应给NVIDIA等企业的先进半导体所必需的核心设备。
瑞银集团尤其通过分析光源和激光相关专利活动后评估认为,中国的技术水平与阿斯麦着手量产极紫外线设备约15年前所处的阶段相似。该机构指出:“与阿斯麦相比,中国在良率和吞吐量方面仍存在差距,且还面临监管限制,因此中国产光刻设备在海外市场投入使用的可能性较低。”
瑞银集团预计,中国将在未来2至5年内具备量产浸没式深紫外线(DUV)光刻设备的能力。浸没式深紫外线设备的技术水平虽低于极紫外线设备,却仍是半导体生产不可或缺的设备,用于借助光线在硅晶圆上刻制精细复杂的电路图案。不过,瑞银集团表示,由于难以准确掌握设备性能及中国半导体供应链的技术水平,相关预测仍存在不确定性。
中国政府以实现半导体自主化为目标,正向本国半导体产业投入巨额国家资本。然而,在美国主导的先进半导体制造设备出口限制下,技术研发正受到制约。
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