在清州SK海力士园区,2名作业人员因接触有毒化学物质被送往医院。
10日,SK海力士表示,当天下午3时58分左右,在清州SK海力士第四园区搬运设备的2名作业人员接触到疑似有毒化学物质四甲基氢氧化铵(TMAH)的液体。相关作业人员已被送医,据悉转运时未出现明显异常症状。
TMAH是在半导体和显示器制造工艺中,广泛用于硅晶圆清洗和显影工序的强碱性化学物质。若接触皮肤、眼睛或呼吸道,可能造成严重损伤,甚至仅皮肤接触也可能致死。
有关部门推测,TMAH可能是从作业人员搬运的设备中泄漏,并已展开应对,但据悉第一次成分检测结果未检出有毒物质。
有关部门正考虑这样一种可能性:设备在清洗后未完全干燥便被搬运,导致TMAH与水分混合后滴落,目前正在调查准确经过。
这并非SK海力士清州事业场首次发生事故。此前在本月1日,SK海力士清州第四园区内连接M15工厂与M15X工厂的6层气体室曾发生火灾,并一度泄漏微量氟。上月27日,M11工厂内半导体加工设备还曾发生火花飞溅,员工一度疏散约1小时。
本报道由人工智能(AI)翻译技术生成。
版权所有 © 阿视亚经济 (www.asiae.co.kr)。 未经许可不得转载。