半导体“生命之水”超纯水国产化提速…力争2030年前核心设备国产率达90%

by Lee Dongwoo

Published 26 May.2026 12:00(KST)

政府计划到2030年，将用于半导体和显示器生产的“超纯水（Ultra Pure Water）”技术全工艺核心设备的90%实现国产化，以提高尖端产业供应链的稳定性。

气候能源环境部26日表示，将于27日在首尔中区总统酒店，与韩国环境产业技术院、Techross Water & Energy、G&G Intek等共同召开“下一代超纯水生产·供应及自立型生产工艺技术开发项目（第二阶段）”启动会议。

超纯水是用于半导体、显示器、二次电池生产工艺中清洗晶圆和设备的工业用水。由于必须去除极微量有机物、颗粒和离子，因此需要高难度水处理技术。

政府表示，随着超纯水生产技术被评价为与半导体生产稳定性直接相关的核心基础技术，其国产化必要性日益凸显。根据Global Water Intelligence（全球水情报）的数据，全球超纯水市场规模预计将从去年46.5万亿韩元增长至2030年的58.9万亿韩元。

韩国水资源公社研究员正在检查超纯水装置设施。韩国水资源公社供图

此前，政府自2021年起推进“高纯度工业用水生产国产化技术开发项目（第一阶段）”，成功实现了紫外线氧化装置（UV Oxidation）、脱气膜（MDG）、离子交换树脂等核心设备的国产化。并向SK Siltron龟尾工厂的半导体晶圆生产工艺供应由本国技术生产的超纯水，验证了其现场适用性和可靠性。

本次第二阶段项目在既有成果基础上，着重扩大超纯水生产全流程核心技术和设备的国产化。通过将国产化范围扩展至超纯水供应管道材料，计划把全工艺国产化率提高到90%以上。政府还将同步开发低能耗型超纯水示范装置设计技术，旨在同时推进应对碳排放监管和运营成本削减。

为应对气候危机导致的工业用水供应不稳定，还将推进利用再生污水作为超纯水原水的技术开发。通过掌握极微量污染物去除技术，构建稳定的工业用水供应体系。同时并行开展用于精密评估超纯水水质的分析技术开发。政府计划自明年起着手开发超极微量（ppt·万亿分之一）分析技术，不仅要掌握超纯水生产技术，也要掌握水质评估技术。