建立零部件再利用与维修中心
确保光刻设备零部件供应稳定
可在当地进行培训、维修和验证
全球最大光刻设备企业阿斯麦(ASML)在京畿道华城新建办公大楼竣工,继台湾之后正式将韩国定位为其在亚洲的核心技术据点。新大楼被设计为兼具尖端光刻设备运行、培训与再制造功能的“技术实验室”形态,预计将对三星电子和SK海力士在下一代微细工艺上的竞争力提升产生直接影响。
阿斯麦12日在京畿道华城市东滩一般产业园区举行新大楼开幕仪式。阿斯麦首席执行官(CEO)Christopher Fuke为出席开幕式访韩,三星电子半导体(DS)部门首席技术官(CTO)兼半导体研究所所长 Song Jaehyuk、SK海力士未来技术研究院院长(社长) Cha Seonyong 等两家公司主要技术高管也一同出席。政府方面,产业通商资源部贸易投资实长 Kang Gamchan 等人到场。传出Fuke CEO在出席当天竣工仪式后,还与三星电子DS部门负责人、副会长 Jeon Younghyun 会面。
Fuke CEO表示:“决定在华城市建设园区,是一个非常具有战略意义的决定”,“新的华城园区是一个具有象征意义的空间,展示了阿斯麦面向韩国客户在信任、创新、可持续性以及成长方面的坚定意志。”他还称:“园区位于主要半导体制造商聚集的华城市,能够实现更加紧密的合作和迅速的技术支持”,“在半导体制造工艺日益复杂的背景下,这种地理上的接近性也将有助于高效的技术转移。”
ASML Korea代表理事 Choi Hanjong 表示:“值阿斯麦韩国法人成立30周年之际启用华城园区,感慨良多”,“我们将以与韩国半导体产业携手取得的成果为基础,竭尽全力把阿斯麦韩国法人打造成为令员工引以为傲的企业。”
阿斯麦为加强与三星电子、SK海力士等韩国半导体企业的合作,总计投资2400亿韩元建设了此次新大楼。总部位于荷兰的阿斯麦是独家供应极紫外(EUV)光刻设备的企业。2022年11月开工建设的阿斯麦华城园区,在东滩2城市支援设施用地1.6万平方米范围内,建设了部件再利用与维修(Reuse & Repair)设施、培训中心和办公楼等。这不仅是单纯的办公空间,而是一个能够同时开展尖端技术实验与设备运行培训的“技术复合据点”,意义重大。
培训中心面向包括阿斯麦及客户公司在内的每年约2000名受训人员运营100多个项目。这里不仅配备先进的EUV、DUV设备,今后还将提供High NA EUV设备培训。R&R中心通过资源循环和碳减排,为阿斯麦践行环境、社会与公司治理(ESG)做出贡献。该中心通过快速维修响应和维修部件再利用提升效率,并计划逐步扩大设备维护保养及部件维修的范围。除此之外,阿斯麦还在现场积极落实ESG(环境·社会·公司治理)原则,例如为乘坐公共交通和步行通勤的员工提供支持、限制一次性用品使用等。
此前,韩国半导体业界为获得尖端光刻设备的供给以及开展技术培训,不得不将工程师派往荷兰总部或台湾,如今则可以在本地实现培训、维修和验证。一位业界相关人士表示:“阿斯麦是一家生产微细工艺企业必不可少设备的公司,是极为重要的合作伙伴”,“此次新大楼将成为韩国半导体企业与阿斯麦更快速、更高效推进技术合作的基础。”
阿斯麦早在1996年就进入韩国,并于2016年在东滩设立了ASML Korea总部及技术支持中心,但当时主要以客户支持和销售职能为主。本次华城新大楼在取代原总部的同时,在规模和角色上全面升级,是首座“尖端技术型办公大楼”。这里具备High NA EUV光刻机实操培训、维护保养与再制造的全套能力,被评价为将借此契机把韩国在阿斯麦体系中的地位提升为继台湾之后的亚洲核心技术枢纽。
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