LaserCell股价走强。市场分析认为,这受到三星电子和SK海力士将在高带宽内存(HBM)晶圆工艺中导入激光技术这一消息的影响。


截至9日上午10时46分,LaserCell报1万80韩元,较前一交易日上涨8.04%。


据业内人士透露,三星电子和SK海力士近期正准备将HBM用晶圆脱附(去粘,debonding)工艺转为激光方式。晶圆去粘是指在工艺过程中,将为防止变形而贴附在变薄晶圆上的临时晶圆(玻璃材质载体晶圆)分离出来的作业。


晶圆去粘此前是通过被称为刀片的部件来进行的。将生成半导体的主晶圆与载体晶圆用胶粘合后,再用刀片分离,因此被称为机械式去粘。


但在HBM领域,随着堆叠层数增加到12层、16层等,晶圆进一步变薄,采用刀片分离面临极限。晶圆厚度变薄至30微米(㎛)以下,容易受损。此外,为刻画电路而进行的刻蚀、研磨、布线等工序增多,以及超高温环境下需要新型胶黏剂,这些也是两家公司打算放弃既有机械方式、改用激光的原因。



另一方面,LaserCell是一家以“面光源-区域激光”技术为基础,从事芯片与印刷电路板(PCB)基板封装工艺所需设备制造为主要业务的公司。其拥有包括“多光束激光去粘装置及方法”在内的相关专利。


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