[个股动态]Chemtronics受益Lee Jaeyong强化“EUV同盟”…全球顶级EUV核心材料正式量产
Chemtronics股价走强。公司今年一季度实现营业利润125亿韩元,同比由亏转盈的消息被认为正在对股价产生影响。
16日11时32分,Chemtronics报3万4850韩元,较前一交易日上涨22.28%。
根据季度报告,按合并基准,一季度实现销售额1475亿韩元、营业利润125亿韩元。销售额同比增长12%,营业利润实现扭亏为盈。
Chemtronics成功试生产出用于半导体极紫外线(EUV)光刻工艺的核心材料——光刻胶(PR)组成成分之一PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯),其纯度达到99.999%(5N),目前已在量产中。自今年上半年起,为实现正式量产,正在推进最终客户的质量认证工作。
PGMEA是用于半导体制造的代表性溶剂,被制成半导体用稀释剂(Thinner),在光刻工艺中负责清洗掉未发生感光反应部分所附着的感光材料。Chemtronics的PGMEA竞争力在于其5N级高纯度,可显著减少因金属残留物导致的光刻工艺不良率。Chemtronics表示,在确保环保性方面也取得了较大成果。
PGMEA中含有一种名为“异构体(β-异构体)”的潜在有毒物质,全球企业对该异构体浓度的要求是低于10ppm(表示百万分之一的单位)。Chemtronics已将β-异构体物质降至约1.5ppm水平。
Chemtronics的PGMEA合成竞争力体现在两方面:一是达到5N超高纯度,二是金属杂质仅以ppb(十亿分之一)级的超微量存在。在光刻工艺中,这有助于防止金属杂质引起的光散射与折射,从而提升良品率。
Shinhan投资证券研究员Namgung Hyun表示:“随着面向光刻胶(PR)的PGMEA质量测试通过,以及玻璃基板厂商积极构建供应链带来的TGV工艺导入,半导体业务扩张的可见度也在提升”,“公司还拥有为年末第8代混合有机发光二极管(OLED)试量产做准备所带来的成长动力。”其预计公司今年将实现销售额6224亿韩元、营业利润529亿韩元。
另一方面,三星电子计划以其EUV技术实力为基础,在代工市场主导3纳米以下超精细工艺市场,并在年内采用EUV工艺量产第6代10纳米级动态随机存取存储器(DRAM)。三星电子会长Lee Jae-yong上月访问了位于德国奥伯科亨的蔡司(ZEISS)总部,与首席执行官(CEO)Carl Zeiss Lamprecht等管理层会面,讨论加强双方合作的方案。蔡司是为ASML的EUV设备独家供应光学系统的企业。三星电子决定今后与蔡司在EUV技术及先进半导体设备相关领域进一步扩大合作。
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