YCChem股价走强。极紫外线(EUV)光刻胶(PR)用清洗液实现商业化的预期,似乎正在影响股价。
29日上午10时53分,YCChem报3万韩元,较前一交易日上涨24.48%。
半导体工艺材料开发企业YCChem表示,其自主开发的用于EUV曝光工艺的清洗液产品,已启动全球客户量产线评估。
YCChem的EUV PR用清洗液自本月起,正在全球半导体客户企业的量产线中进行测试流程。如果量产测试评估通过,预计最快在今年下半年即可实现正式量产和供应。
YCChem的极紫外线光刻胶用清洗液在半导体EUV曝光工艺中用于涂覆光刻胶之后,起到在EUV工艺中防止因光源波长较短而产生的半导体图形桥连或崩塌,同时改善分辨率、粗糙度和灵敏度等性能的作用。
目前,韩国国内EUV PR用清洗液市场由一家德国企业垄断。如果YCChem成功实现商业化,将成为国产化首例。根据市场调研机构The Tech(TECHCET)数据,EUV PR用清洗液全球市场规模在2021年约为5000万美元,随着半导体纳米工艺的快速推进,预计到2025年将增长至2亿美元规模。
成立于2001年的YCChem是一家先进半导体材料开发企业,在半导体材料开发领域拥有多项“全球首次”纪录。该公司于2004年率先在全球开发出用于氟化氩(ArF)及氟化氪(KrF)光刻胶的清洗液。2015年,又全球首次推出用于特殊目的ArF浸没工艺的清洗液。YCChem目前正开展多种EUV光源用材料的开发,已开始EUV稀释剂(Thinner)、显影液(Developer)的量产,并在开发EUV光刻胶(EUV PR)、EUV底层涂层(Underlayer)等产品。
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