삼성 반도체 장비·운영 노하우, 공공나노팹에 이전

한국나노기술원에 8인치 웨이퍼 측정장비 지원
공장 운영 매뉴얼 도입…공공 연구시설로 확대

삼성전자가 반도체 생산시설 운영 노하우와 유휴장비를 공공 연구시설에 이전했다. 민간기업의 반도체 제조·관리 경험을 대학과 연구기관, 소재·부품·장비(소부장) 기업이 활용하는 공공나노팹에 접목해 연구개발(R&D) 지원 역량을 높이기 위한 것이다.

과학기술정보통신부는 11일 경기 수원 한국나노기술원에서 '공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 중고장비 이전식'을 개최했다고 밝혔다. 이번 사업은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 체결한 업무협약의 후속 조치다.

기사의 이해를 돕기 위한 자료 사진. 연합뉴스 제공

삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문 상생협력센터는 지난 6월부터 10월까지 한국나노기술원을 대상으로 반도체 공장 운영·관리 컨설팅을 진행했다. 삼성전자가 소부장 협력사에 제공해 온 컨설팅을 공공 연구시설의 특성에 맞게 적용한 것이다.

컨설팅 결과는 장비별 표준작업절차서(SOP)와 점검표, 교육·운영 기준에 반영됐다. 특히 삼성전자는 반도체 생산현장에서 활용하는 점검 방식을 바탕으로 공공나노팹 맞춤형 '현장점검 매뉴얼'을 개발했다. 시설 안전과 장비 상태를 상시 점검할 수 있도록 표준 절차를 마련한 것이 특징이다.

삼성전자의 유휴장비도 한국나노기술원으로 이전됐다. 이전 대상은 8인치 반도체 웨이퍼의 박막 두께와 광학상수를 비파괴 방식으로 측정하는 자동 패턴 박막 측정장비다. 한국나노기술원은 이를 기업과 대학, 연구기관의 반도체 공정 연구 및 기술지원에 활용할 계획이다.

민간 컨설팅 모델, 다른 공공나노팹으로 확대

과기정통부는 이번 컨설팅 결과를 공공나노팹 공동 활용체계인 '모아팹(MoaFab)' 참여기관으로 확대할 방침이다. 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터와 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등에 운영 개선 모델을 순차적으로 적용할 계획이다.

지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 "삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에게 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다"며 "이번 컨설팅 모델이 다른 모아팹 참여기관으로 확산되는 과정에도 함께하겠다"고 전했다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 "민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 커지고 있다"며 "협력 모델을 모아팹 참여기관 전반으로 넓혀 반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 뒷받침하겠다"고 말했다.

김종화 기자 justin@asiae.co.kr