테라뷰홀딩스, 반도체 검사장비 'EOTPR 4500' 공급 확대

글로벌 테라헤르츠(THz) 솔루션 선도기업 테라뷰 홀딩스가 인공지능(AI) 반도체 검사장비 공급을 늘리고 있다.

테라뷰홀딩스의 EOTPR 내부 광학 시스템. 테라뷰홀딩스

테라뷰홀딩스는 2일 국내 첨단 반도체 기판 제조사와 10억9797만4920원 규모의 반도체 검사장비 'EOTPR 4500' 공급계약을 체결했다고 3일 밝혔다.

계약금액은 최근 매출액 대비 14.03%에 해당하며, 계약기간은 내년 11월 19일까지다. 종료일은 최종 대금 수령 기한이며, 고객사명은 계약상대방의 영업비밀 보호 요청에 따라 비공개로 유지된다. 이번 계약은 기존 국내 고객사의 주요 해외 생산거점에 EOTPR 4500을 추가 공급하는 후속 수주다.

EOTPR 4500은 기존 전기검사나 2차원 X-ray 검사에서 식별하기 어려운 미세균열과 단선·단락, 층간 박리, 칩 간 연결부 불량 등을 분석하는 테라헤르츠(THz) 기반 검사장비다. 검사 대상을 손상시키지 않고 내부 연결부의 전기적 결함 위치를 정밀하게 파악한다.

도널드 도미닉 아논 테라뷰 대표이사는 "이번 계약은 국내 고객사의 주요 해외 생산거점에 대한 후속 수주로, 고객사가 생산량 확대에 맞춰 생산거점별로 EOTPR 장비를 추가 도입하고 있다는 점에서 의미가 있다"고 말했다.

박승욱 기자 ty1615@asiae.co.kr