HBM·초미세 공정 확산에 대응해 고순도 소재 개발
AI 기반 수처리 통합 설계 프로그램도 선봬
삼양사가 기존 제품보다 나트륨 함량을 94% 줄인 차세대 반도체용 초순수 이온교환수지를 공개하며 반도체 초순수 소재 국산화에 속도를 낸다.
삼양사가 지난 28일 서울 종로구 본사에서 개최한 ‘트리라이트 데이 2026’ 행사에서 조영도 삼양사 WS PU장(가운데) 등 참석자들이 기념촬영을 하고 있다. 삼양홀딩스
삼양사는 지난 28일 서울 종로구 본사에서 수처리 관련 고객사 임직원 70여명을 초청해 '트리라이트 데이(TRILITE DAY) 2026'을 개최했다고 29일 밝혔다.
이번 행사에서 공개한 '맥스퓨리티 UPRM500U(Maxpurity UPRM500U)'는 기존 제품인 UPRM400U보다 수지 내 잔류 나트륨 함량을 94% 낮춘 것이 특징이다. 철과 칼슘, 마그네슘 등 8개 금속 함량도 줄여 초순수의 순도를 높였다.
초순수는 이온과 유기물, 미립자 등 불순물을 극한까지 제거한 물로, 반도체 웨이퍼 세정 공정 등에 사용된다. 반도체 회로 선폭이 2나노미터(㎚) 이하로 미세해지면서 극미량의 불순물도 제품 결함으로 이어질 수 있어 수질 관리의 중요성이 커지고 있다.
특히 이온교환수지는 초순수 제조 공정의 마지막 정제 단계에서 사용되는 핵심 소재다. 이 단계 이후에는 이온을 추가로 제거하는 공정이 없어 이온교환수지 자체의 순도가 최종 초순수 품질에 직접적인 영향을 미친다.
삼양사는 앞으로 24개 금속·이온 관리 기준을 토대로 이온교환수지에서 용출되는 금속량을 정량적으로 예측할 수 있는 데이터도 확보할 계획이다.
이날 행사에서는 AI 기반 수처리 통합 설계 프로그램 '뉴 트라이앵글(New TriAngle)'도 공개됐다. 처리 유량과 원수 조건, 운전 시간 등을 입력하면 AI가 이온교환수지와 역삼투(RO), 전기탈이온(EDI) 공정을 통합 분석해 최적의 수처리 공정 흐름도를 1분 안에 제시하는 프로그램이다. 삼양사는 이 같은 통합 설계 프로그램을 개발한 것은 세계 최초라고 설명했다.
이 밖에도 기존 제품보다 이온 교환용량을 약 15% 높인 고용량 음이온교환수지 '맥스캐퍼시티 MA-10E(Maxcapacity MA-10E)'와 원자력발전소 복수탈염설비용 고순도 이온교환수지 개발 현황을 소개했다.
조영도 삼양사 WS PU장은 "반도체 초순수 이온교환수지 한 알의 순도까지 관리하는 단계에 이른 만큼 제품 상용화를 앞당겨 반도체 초순수 소재 국산화에 기여하겠다"며 "뉴 트라이앵글을 통해 수처리 시스템 설계 기간을 단축하고 고객사 요구에도 더욱 신속하게 대응할 것"이라고 말했다.
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