티로보틱스, 해외에 유리기판 이송로봇 특허 출원 신청

로보틱스 전문기업 티로보틱스 가 해외 주요국에 유리기판 이송로봇 특허 출원에 나서며 특허 포트폴리오 확대를 본격화한다.

티로보틱스는 미국, 대만, 중국 등 주요 국가를 대상으로 유리기판 이송로봇 특허 출원을 신청했다고 9일 밝혔다.

티로보틱스는 반도체 웨이퍼 이송로봇과 유기발광다이오드(OLED)용 글라스 진공이송로봇을 전문적으로 개발·생산하며 삼성디스플레이, LG디스플레이, BOE 등 국내외 주요 반도체 및 디스플레이 제조업체에 장비를 공급한다.

티로보틱스는 이런 역량을 바탕으로 최근 차세대 반도체 산업 핵심 기술로 주목받는 유리기판 이송로봇 개발을 완료했다. 이 기술은 지난해 국내 특허 등록에 이어 최근 일본 특허 등록까지 마쳤다.

유리기판은 공정 과정에서 높은 수준의 정밀 제어와 안정적인 핸들링 기술이 요구된다. 인공지능(AI) 반도체와 고대역폭메모리(HBM), 첨단 패키징 시장 확대와 함께 차세대 반도체용 유리기판 적용 가능성이 커지면서 관련 기술이 주목받고 있다.

티로보틱스는 미국, 대만, 중국 등 주요 반도체 생산 거점을 중심으로 글로벌 특허 포트폴리오 확대에 나선다.

티로보틱스 관계자는 "한국과 일본 특허 등록에 이어 미국, 대만, 중국 등 주요 국가에서도 특허를 확보해 유리기판 이송로봇 시장에서 경쟁력을 강화하고 글로벌 고객사 확대와 시장 진출에 적극 나설 것"이라고 말했다.

박승욱 기자 ty1615@asiae.co.kr