네덜란드 경제부 장관·ASML 전 CEO, 삼성 평택공장 방문

삼성, 하이 NA EUV 장비 반입 및 R&D 협력 논의
베닝크 전 CEO, 네덜란드 정부와 삼성 간 가교 역할
삼성·ASML, 30년 협력 관계… 연구시설 투자 지속
반도체 업계, 삼성의 미세공정 기술력 강화 주목

네덜란드 경제부 장관과 반도체 장비업체 ASML의 전 최고경영자(CEO)가 삼성전자 평택 반도체 공장을 찾았다.

20일 업계에 따르면 디르크 벨야르츠 네덜란드 경제부 장관과 피터 베닝크 ASML 전 CEO를 비롯한 네덜란드 정부 관계자들이 19일 삼성전자 반도체 경영진과 만나 협력 방안을 논의했다.

이들은 삼성전자가 반입을 앞둔 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(High-NA) EUV 노광장비’와 연구개발(R&D) 협력, 투자 계획 등을 논의했을 가능성이 크다는 분석이 나온다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV(극자외선) 노광장비를 생산하는 기업으로, 반도체 업계에서는 '슈퍼 을(乙)'로 불린다.

최첨단 기술을 적용한 하이 NA EUV는 2㎚(나노미터, 10억분의 1m) 미만의 초미세 반도체 공정을 구현할 수 있는 장비로, 가격은 한 대당 4000억~5000억 원 수준으로 알려졌다.

로이터 연합뉴스

업계에서는 삼성전자가 이르면 올해부터 이 장비를 반입할 것으로 보고 있다.

이번 방문에서 베닝크 전 CEO가 네덜란드 정부와 삼성 간 가교 역할을 했다는 분석이 나온다. 그는 2013년부터 ASML을 이끌며 삼성과 긴밀한 협력을 이어왔으며, 지난해 CEO 자리에서 물러난 이후에도 삼성과의 관계를 유지하고 있다.

그가 CEO로 있던 2023년 말, ASML은 삼성전자와 함께 경기 화성에 1조 원 규모의 첨단 반도체 연구시설을 구축하기로 결정했으며, 현재 사업이 진행 중이다.

삼성과 ASML은 30년 이상 협력 관계를 이어온 주요 파트너다. 이재용 삼성전자 회장은 유럽 출장 때마다 ASML 본사를 방문하며 협력을 강화해 왔다. 작년 8월 파리 올림픽에서는 베닝크 전 CEO와 함께 수영 경기를 관람하는 등 친분을 유지하고 있다.

베닝크 전 CEO는 19일 ‘세미콘코리아 2025 리더십 디너’ 행사에서 취재진과 만나 “이 회장은 오랫동안 함께 일한 좋은 친구”라며 각별한 관계를 강조했다.

네덜란드 정부·ASML, 삼성과 협력 확대 전망벨야르츠 장관과 베닝크 전 CEO는 삼성 평택공장 방문 후, 크리스토퍼 푸케 ASML CEO와 함께 ‘세미콘코리아 2025 리더십 디너’ 행사에 참석해 반도체 업계 주요 인사들과 산업 전망을 공유했다.

삼성전자가 하이 NA EUV 장비를 도입하면, 미세 공정 기술력을 한층 높일 수 있을 것으로 기대된다. 이번 네덜란드 정부 관계자들의 방문이 삼성과 ASML 간 협력 확대의 신호탄이 될지 업계의 관심이 쏠린다.

박소연 기자 muse@asiae.co.kr