세메스, 반도체 포토 공정용 '오메가 프라임' 2호기 양산

日 TEL 독점 장비 국내 첫 개발 사례
지난해 1호기 양산 후 차기작 개발

반도체 장비 기업 세메스는 국내 최초로 개발한 반도체 포토 공정용 트랙 장비 '불화아르곤이머전 스피너(설비명: 오메가 프라임)' 2호기를 본격적으로 양산한다고 24일 밝혔다.

세메스가 양산에 성공한 이머전 스피너(설비명: 오메가 프라임) / [사진제공=세메스]

스피너는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 미세 회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(포토 레지스트)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 역할을 한다. 일본 최대 반도체 장비 업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 관련 시장 점유율을 90% 이상 차지하고 있다.

그간 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산하던 세메스는 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 새로 개발, 지난해 양산 1호기를 출하한 바 있다. 사실상 일본이 독점하던 시장에 출사표를 낸 것이다.

불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고(高) 설비다. 세메스는 로봇 위치 조정과 베이크 온도 세팅 등을 위해 자동화 시스템을 장비에 적용했다. 비전 감시 기능 시스템과 베이크 자동 보정 등의 특화 기술도 포함했다.

최길현 세메스 최고기술책임자(CTO)는 "반도체 핵심 공정 장비인 오메가 프라임 개발로 향후 수입 대체 효과가 클 것"이라며 "앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화한 장비를 선보이며 기술 혁신 기업으로 거듭나겠다"고 말했다.

김평화 기자 peace@asiae.co.kr