차세대 반도체 공정장비 선도업체 아이엠티 주가가 강세다. 인공지능(AI) 반도체 수요가 늘면서 아이엠티가 세계 최초로 개발한 장비 수요가 늘어날 것이라는 기대감이 주가에 영향을 주는 것으로 풀이된다. 국내에서 유일한 극자외선(EUV) 관련 기술도 AI 반도체 시대에 유용할 것이라는 기대감도 커지고 있다. 지난해 10월 상장하면서 상대적으로 반도체 장비 기술력이 덜 알려지면서 AI 반도체 관련주 급등 흐름에 뒤늦게 동참한 것으로 보인다.
25일 오후 1시12분 아이엠티는 전날보다 17.46% 오른 2만2600원에 거래되고 있다.
아이엠티는 기존 반도체 습식 세정 방식의 단점을 보완할 수 있는 레이저 건식 세정 방식을 개발했다. 고대역폭메모리(HBM) 분야에 적용 가능한 3세대 CO2세정 기술 ‘MicroJet’을 세계 최초로 개발했다. 국내에서 유일하게 극자외선 마스크 레이저 베이킹(EUV Mask Laser Baking) 장비 사업을 전개하는 등 독보적인 기술력을 확보하고 있다. CO2 세정장비는 HBM 공정에서 웨이퍼를 적층하기 전 오염물질을 CO2로 제거하는 장비다. 드라이아이스 입자 크기를 제어해 세밀하게 세정하는 MicroJet 기반 CO2 링 프레임 웨이퍼(Ring Frame Wafer) 세정 장비로 인공지능(AI) 등에 활용되는 초정밀 HBM 세정 분야에서 독보적인 지위를 확보했다.
건식 세정을 기반으로 ▲극자외선 마스크 레이저 베이킹(EUV Mask Laser Baking) 장비 ▲EDS공정 프로브 카드용 레이저 세정 장비 ▲패키징 공정 HBM용 CO2 Ring Frame Wafer 세정 장비 ▲패키징 몰드(Packaging Mold) 레이저 세정 장비 ▲HBM용 CO2번인보드(Burn in Board) 세정장비 ▲최종 테스트 공정 레이저 소켓 세정장비 등의 제품군을 구축하고 있다.
앞서 유안타증권은 지난달 아이엠티에 대해 반도체 기업의 HBM 생산설비 확충에 따른 수혜가 예상된다고 분석했다. 백길현 유안타증권 연구원은 "2022년 글로벌 D램 공급업체 M사의 HBM Post Dicing 공정 내 C02 세정장비 납품을 개시한 바 있다"며 "2024~2025년 M사의 HBM 증설투자 전략은 아이엠티의 CO2 건식 세정장비 수요 증가를 기대하게 한다"고 설명했다.
마이크론의 HBM3E는 경쟁업체 대비 10% 나은 성능, 30% 낮은 전력 소비로 고객사로부터 긍정적인 피드백을 받은 것으로 알려졌다. 지난해 4분기부터 HBM3E 샘플물량을 다수 고객사에 납품 중인 것으로 파악된다. 내년 초 HBM3E 양산을 시작하고 2025년 전체 HBM 시장 내에서도 D램 비트 점유율과 유사한 수준까지 확대할 계획이다.
백 연구원은 "C02 건식 세장장비의 고객 다변화에 대한 가능성을 배제할 수 없을 것"이라며 "국내 H사는 HBM용 Burn-in 공정 내 CO2 세정 장비 도입을 긍정적으로 검토 중인 것으로 파악된다"고 설했다.
윤철환 한국투자증권 연구원은 "레이저 클리닝 장비는 S사 공정상의 기본 생산 장비로 채택된 만큼 올해에도 OSAT 업체향으로 지속적인 장비 발주가 이어질 것"이며 "HBM 사업과 관련해서는 수율 향상 효과를 확인했다"고 분석했다.
아이엠티는 국내에서 유일하게 극자외선(EUV) 마스크 레이저 베이킹 장비 개발에 성공했다. EUV 마스크 레이저 베이킹 장비는 마스크의 필요한 부위만 정밀하게 구워 회로 패턴의 해상도를 높이는 장비다. 현재 D램 선단 공정에서 EUV 공정 적용이 확대되며 레이저 베이킹 장비 공급 기대감도 높아지고 있다. AI 반도체 수요 증가로 EUV 투자도 빠르게 증가하고 있다.
최근 AI 반도체 수요가 늘어나며 유럽증시에서 ASML은 시가총액 3위 자리에 오르기도 했다. ASML 시가총액은 3300억달러(약 440조원)를 돌파했다. 피터 베닝크 최고경영자(CEO)는 언론과 인터뷰에서 "AI는 대규모 컴퓨팅 능력과 데이터 스토리지가 필요하다"면서 "따라서 ASML 없이는, 즉 우리의 기술이 없으면 (AI 붐이) 일어날 수 없을 것"이라고 강조했다. ASML은 지난해 4분기 주문 예약이 91억9000만 유로(약 12조3000억원)에 달한다고 밝혔다. 전분기 대비 353% 급증했다. 최첨단 EUV 노광장비에 대한 주문 규모가 56억유로를 기록했다.
박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr
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