[칩포메이션] 반도체업계 '슈퍼 을(乙)' ASML

[아시아경제 박선미 기자] 네덜란드 반도체 장비 기업인 ASML이 이달 16일 경기도 화성에서 반도체 클러스터 기공식을 연다. 지난해 화성시·경기도와 양해각서(MOU)를 체결하고 화성 새 캠퍼스에 대한 투자계획을 발표한 데 따른 것이다. ASML은 올해부터 2024년까지 2400억원을 들여 화성 반도체 클러스터를 구축하는데, 반도체 클러스터 면적은 1만6000㎡로 ASML의 반도체장비 제조센터와 극자외선(EUV) 및 심자외선(DUV) 트레이닝센터가 들어선다. 이달 기공식에는 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)를 비롯한 주요 경영진이 총출동한다.

ASML은 전체 반도체 제조기술 중 가장 중요한 공정인 노광 분야에서 절대적인 영향력을 갖고 있다. 세계 반도체 노광장비 시장에서 부동의 1위다. 삼성, TSMC, SK하이닉스, 인텔 등 최고의 반도체 제조사 생산라인에서 핵심적인 역할을 하고 있다.

반도체 노광 공정이란 극히 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣는 기술을 말한다. 감광액을 바른 웨이퍼 위에회로도 원판을 놓고 빛을 쪼이면 빛에 노출된 부분만 형상화되는 원리다. 이 기술의 핵심은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것이다. 마이크론(μm) 단위였던 반도체 회로선폭 미세공정이 2000년대 이후 나노(nm)공정으로 넘어오면서 노광 공정에서 빛(광원)의 파장은 특히 중요해졌다.

특히 고부가가치인 7나노 반도체 양산을 위해서는 EUV 노광 시스템의 활용이 필수적인데, ASML은 EUV 시스템 기술을 독점적으로 보유하고 있다. EUV는 파장이 13.5nm로 매우 짧아 더욱 미세하게 반도체 회로를 구현한다. EUV 장비의 생산량은 연간 40대 내외로, 대당 기본 가격이 2000억원을 넘지만 초미세 공정에 필수적으로 필요하다 보니 이를 조기에 확보하기 위한 반도체업계간 경쟁이 치열할 수 밖에 없다. 게다가 ASML은 현재 반도체업계에서 요구하는 3나노 이하의 공정에 적용하기 위한 High-NA기술(기존 0.33NA 값을 0.55NA로 높이는 기술)도 연구·개발하고 있어 ASML의 영향력은 앞으로 더욱 커질 전망이다.

ASML이 한국 시장에 공을 들이는 것은 세계적인 반도체기업 삼성전자와 SK하이닉스를 품고 있는 데다 최근 반도체산업에 대한 정책적 지원이 더욱 활발해진 영향이 있다. 한국은 지난해 ASML 전체 매출 186억유로에서 35% 가량을 차지했을 정도로 핵심 매출 대상 국가다. 이 말은 ASML 장비가 없으면 한국 기업들이 최첨단 공정을 이용한 반도체를 생산하지 못한다는 얘기가 된다.

이우경 대표가 지사장으로 있는 ASML코리아가 한국에 설치된 첫 장비를 지원하기 위해 1996년 설립된 이래 26년간 최신 장비를 지원하는 것은 물론, 장비 성능 유지를 위한 기술 서비스를 제공하며 한국 반도체 산업의 핵심적 역할을 하고 있고 있는 것도 이러한 배경이 깔려 있다.

인플레이션(물가상승)과 경기 침체 등으로 반도체업계가 휘청거리고 있지만 ASML은 핵심 제품인 EUV 장비 판매가 꾸준하게 이어지면서 탄탄대로를 달리고 있다. ASML은 3분기 매출이 57억8000만유로로 1년전보다 10% 가까이 증가한 데 이어 4분기에도 매출이 61억~66억유로, 총 마진이 49%에 이를 것으로 예상하고 있다.

박선미 기자 psm82@asiae.co.kr