bar_progress

이온빔 이용한 차세대 고성능 반도체 소재 세계 첫 개발

최종수정 2022.05.13 03:00 기사입력 2022.05.13 03:00

김윤석 성균관대 교수 연구팀, 13일 '사이언스'에 논문 게재

AD
썝蹂몃낫湲 븘씠肄


[아시아경제 김봉수 기자] 한국 연구진이 이온빔을 이용해 차세대 고성능 반도체 소재를 세계 최초로 개발했다.


과학기술정보통신부는 김윤석 성균관대 교수 연구팀이 차세대 반도체 소재로 주목받고 있는 하프늄옥사이드(HfO2)에 ‘이온빔’을 이용해서 강유전성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 방법을 세계 최초로 구현했다고 13일 밝혔다. 이번 연구 결과는 국제학술지인 사이언스(Science)에 이날 게재됐다.

강유전성이란 외부 자기장 등에 의해 물체의 일부가 양(+)극이나 음(-)극을 띠게 된 후 그 성질을 유지하게 되는 성질을 말한다. 강유전성이 크면 메모리에서 데이터를 저장하는 기본구조인 ‘0’과 ‘1’의 차이가 커져 저장된 데이터를 보다 정확하게 읽을 수 있게 된다. 이러한 강유전성을 지니는 물질을 사용할 경우, 나노미터의 매우 얇은 막 상태에서도 우수한 강유전성을 통해 반도체 소자의 집적도를 높일 수 있다는 아이디어가 이미 40여 년 전에 제안되었었다. 그러나 최근 새로 도입된 소재인 하프늄옥사이드에서도 강유전성 증대를 위한 후처리과정이 추가로 필요하고 여러 공정 조건들이 강유전성에 큰 영향을 미치는 등 실제 적용에는 공정상 큰 한계점이 있어 실제로 구현되지는 못했었다.


연구팀은 후처리과정이나 복잡한 공정최적화 과정 없이, ‘이온빔’이라는 하나의 변수만으로 하프늄옥사이드의 강유전성을 손쉽게 조절하고 획기적으로 향상시킬 수 있는 방법을 제시했다. 강유전성의 발현 정도는 산소 공공(산화물 재료의 결정구조에서 산소 원자가 빠져 비어있는 자리)과 밀접한 관계가 있다고 알려져 왔으며, 연구팀은 이에 착안하여 이온빔을 이용한 산소 공공의 정량적 조절을 통해 강유전성을 향상시키는 방법을 고안했다.


연구팀은 이온빔을 적용한 결과, 강유전성의 증가 원인이 산소결함 밀도와 연계된 결정구조 변화에서 기인한다는 원리를 밝혀냈으며, 이온빔을 적용하지 않을 때보다 강유전성을 200% 이상 증가시킬 수 있었다.

김윤석 교수는 "이번 연구를 통해 강유전성을 활용한 고효율 반도체 소자의 실용화를 앞당길 수 있을 것으로 기대된다"며 "현재의 방법론적 연구 결과를 토대로 실제 반도체 산업에 적용하기 위해서는 최적 조건 탐색 등 후속 연구가 지속적으로 필요하다"고 말했다.


김봉수 기자 bskim@asiae.co.kr
AD

<ⓒ경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

포토갤러리

  • [포토] 강민경 '하와이에서 공개한 근황' [포토] 클라라 '완벽한 S라인' [포토] 현아 '왜 이렇게 힙해?'

    #국내핫이슈

  • [포토] 이하이 '또렷한 이목구비' [포토] 전소미 '바비인형 비주얼' [포토] 이유비 '귀여운 패션'

    #연예가화제

  • [포토] 여자아이들 우기 '도발적 뒤태' [포토] 서현 '막내의 반전 성숙미' [포토] 엄정화 '명불허전 댄싱퀸'

    #스타화보

  • [포토] '발리댁' 가희, 탄탄한 복근 [포토] 강지영 '반전 뒤태' [포토] 지민 '크롭티의 정석'

    #몸매종결자

  • [포토] 킴 카다시안 '완벽한 건강미' [포토] 킴 카다시안 '넘사벽 카리스마' [포토] 킴 카다시안 '파격적 패션'

    #해외스타

간격처리를 위한 class

많이 본 뉴스 !가장 많이 읽힌 뉴스를 제공합니다. 집계 기준에 따라 최대 3일 전 기사까지 제공될 수 있습니다.

한눈에 보는 뉴스&트렌드