홍 부사장은 "대안 기술은 여러가지가 될 수 있지만 그중에서도 EUV가 조속히 개발되어야 한다"며 "EUV가 개발되지 않으면 지금보다 훨씬 복잡한 멀티 패터닝 과정을 거쳐야 해 기술·경제적으로 (반도체 업계가) 어려움을 겪게 될 것"이라고 말했다.
이어 "그동안 EUV 도입이 불가능한 일이 아니냐는 업계 우려가 많았고, 지연되어왔지만 2015~2016년 많은 발전이 있었다"며 "향후 미세공정에도 대응할 수 있을 것"이라고 말했다. 한편 홍 부사장은 SK하이닉스가 도시바에 지분 투자를 하기로 한 것에 대해선 "언급할 수 없는 사안"이라고 말을 아꼈다. 다만 "(반도체 업계가) 더 이상 미세공정이 어렵겠다는 판단 하에 3D 낸드플래시로 방향을 잡고, 3D낸드 제품을 양산하게 됐다"며 "계획대로 상반기 중에 72단 낸드플래시 개발을 완료할 것"이라고 말했다.
원다라 기자 supermoon@asiae.co.kr
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